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論文

A high current volume H$$^{-}$$ion source with multi-aperture extractor

奥村 義和; 堀池 寛; 井上 多加志; 倉島 徹; 松田 慎三郎; 小原 祥裕; 田中 茂

4th Int.Symp.on Production and Neutralization of Negative Ions and Beams, p.309 - 318, 1987/00

1A以上の水素負イオンを発生できる体積生成型負イオン源について述べる。水素負イオンは磁気フィルター付の多極プラズマ源にて生成され、4枚の電極から成る多孔型加速管により引き出され加速される。各電極は12$$times$$26cm$$^{2}$$の領域に9mm$$^{phi}$$の孔を209個有する(総引き出し面積133cm$$^{2}$$) カロリメータを用いた熱的な測定により、最大、1.26A、21keVの水素負イオンビームが生成されている事を確認した。また、質量分析によれば、ビーム中の不純物は数%以下であった。

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